Lehelyező és maró szerszámok - Plazmatechnológia - PlasmaPro 100 PECVD Cluster

Kazettás kazettás gyártási eszközök PlasmaPro 100 Cobra, 7 irányú robotkezelővel klaszterezve 200 mm-es és több wafert kezelő batch folyamat modulok és eszközplatformok, amelyek kiváló egyenletességet és magas áteresztőképességet kínálnak különböző alkalmazásokhoz, önálló vagy klaszter rendszerek formájában. A platformok klaszterezhetők a technológiák és folyamatok kombinálására, akár kazettás, akár egyedi wafer betöltési lehetőségekkel. Hatszögletű vagy négyzet alakú transzferkamra konfigurációk elérhetők. ** Kattintson az árkéréshez **