BN-AlN kerámia alkatrészek ionforráshoz - Alumínium-nitrid/Bór-nitrid kompozit BN-AlN kerámia alkatrészek ionforráshoz

A BN-AlN kerámia bór-nitrid (BN) és alumínium-nitrid (AIN) porok szinterelésével készül. Kiváló elektromos szigetelő, hővezető képességgel rendelkezik, magas szilárdságú, ellenáll a hőshocknak, és erős ellenállással bír a halogén gáz plazmával szemben, ami széleskörű alkalmazásokat kínál, beleértve a félvezető gyártó berendezések alkatrészeit és azokat az alkatrészeket, amelyek hatékony hőelvezetést igényelnek. Az ionforrás egy olyan eszköz, amely atom- és molekuláris ionokat hoz létre, és a vákuumkamrában található. Az alumínium-nitrid/bór-nitrid kompozit kiváló elektromos szigetelő, hővezető képességgel bír, vákuumhoz való tömítési képessége van, és nem bocsát ki sok gázt. Így hőelvezető és hőátadó lemezként működik az ionforrásokban. Anyagelőnyök: - Magas mechanikai szilárdság. - Magas hővezető képesség. - Alacsony hőtágulás. - Alacsony dielektromos veszteség. - Kiváló elektromos szigetelés. - Magas korrózióállóság – nem nedvesedik meg az olvadt fémek által.