Maradék Gáz Analizátorok (RGA) és Tömegspektrométerek - 100 AMU CPM

GYORS, MEZŐGAZDASÁGI KÉSZLETET MONITOROZÓ RENDSZER Teljesítmény, Megbízhatóság és Sokoldalúság Az INFICON Transpector CPM több mint egy évtizede a piacvezető maradék gázanalizáló (RGA) folyamatmonitorozó rendszer a félvezető iparban. Most a Transpector CPM 3 iparágvezető mérési sebességet és érzékenységet biztosít egy bevált szivattyúzási és beömlő rendszer révén, amely új érzékelővel és elektronikával van integrálva. A Transpector CPM 3 az ideális RGA folyamatmonitor új és meglévő félvezető folyamatokhoz, mint például ALD, CVD, PVD és Etch. A Transpector CPM 3 bizonyított megtérülést biztosít partnereink számára a következők révén: 1 Ionforrás nyomásmérés alacsony emisszió mellett, teljes nyomáslencsével 2 Teljes nyomás pontosság alacsony emisszió mellett 3 Maximális ionforrás üzemelési nyomás alacsony emisszió mellett 4 2x10 -4 Torr az ionforrásban körülbelül 1x10 -5 Torr-t fog előállítani a quadrupole régióban 5 MDPP az ionforrásnál EM bekapcsolva és 1s tartózkodási idővel 6 40-es tömeg hozzájárulás 41 AMU-ra 7 Nulla robbanás... Felbontás: 1 amu széles @ 10% csúcs magasság Teljes nyomás tartomány¹: 5E-7 - 1E-3 Torr Teljes nyomás pontosság²: +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr Maximális ionforrás üzemelési nyomás³: 1E-3 Torr Névleges üzemelési nyomás⁴: 2E-4 Torr Rendszer üzemelési nyomás: 1E-8 Torr - 1.2 atm Érzékenység (alacsony emisszió): > 4E-6 Amps/Torr Érzékenység (magas emisszió): > 2E-5 Amps/Torr Minimális észlelhető résznyomás⁵: 1E-13 Torr Maximális adatsebesség: 1.8 ms/pont (555 pont/sec) Bőség érzékenység⁶: < 5 ppm Nulla robbanás⁷: < 2 ppm Észlelési határérték⁸: < 1 ppm Lineáris⁹: +/- 20% Minimális háttérnyomás: 1E-8 Torr Maximális érzékelő és beömlő hőmérséklet: 150