Vékony Film Depozíció - SQM-160 Standard Felbontás

Az SQM-160 bevált INFICON kvarc kristály érzékelő technológiát használ a sebesség és a vastagság mérésére vékony filmek lerakási folyamataiban. Két érzékelő bemenet alapfelszereltség, és négy további érzékelő bemenet választható. Két rögzítő kimenet analóg sebesség- és vastagságjelet biztosít. Az érzékelő bemenetek különböző anyagokhoz rendelhetők, átlagolhatók a pontos lerakási kontroll érdekében nagy rendszerekben, vagy konfigurálhatók kettős érzékelőként. A sebességmintavételezési mód lehetővé teszi, hogy egy zárható érzékelő meghosszabbítsa az érzékelő élettartamát nagy sebességű folyamatokban. A sebesség kijelzők 0.1Å/s vagy 0.01Å/s értékek közül választhatók. Ezen kívül a Frekvencia vagy Tömeg kijelzők is választhatók. Négy relé kimenet lehetővé teszi az SQM-160 számára, hogy vezérelje a forrás- vagy érzékelő zárakat, jelezze az idő- és vastagságbeállításokat, valamint jelezze a kristály hibáját. Digitális bemenetek lehetővé teszik külső jelek indítását/megállítását és a nullázást. Alapfelszereltség: RS-232; Választható: USB vagy Ethernet Alapfelszereltség: RS-232; Választható: USB vagy Ethernet 1. osztályú berendezés, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD 1. osztály... QCM Érzékelő Bemenetek: 2; választható: 4 Mérési Frekvencia Tartomány: 1.0 MHz minimum, 6.5 MHz maximum Frekvencia Felbontás (1): ± 0.30 Hz Vastagság és sebesség felbontás/mérés (2): ± 0.37 Å Mérési Intervallum: 0.10-től 2.0 s-ig (állítható) Mérési Szűrő: 1-től 20 olvasásig Tárolt Filmek: 99 Analóg Kimenetek: Két 0-tól 5 VDC-ig, sebesség és vastagság Digitális Bemenetek/Kimenetek: Négy bemenet, négy relé kimenet Kommunikációs Felület: RS-232; Választható: USB vagy Ethernet Tápellátás: 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W CE Megfelelőség: 1. osztályú berendezés, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD Ház/Montázs: 1/2-rack szekrény, 3-1/2