érzékelők linearitása

...A Micro-Epsilon innovatív fehér fény interferométerei mércét állítanak fel a nagy pontosságú távolság- és vastagságmérések terén. Ezek az érzékelők stabil mérési eredményeket biztosítanak, sub-nanométeres felbontással, amely viszonylag nagy mérési tartományt és eltolási távolságot kínál. Az interferométerek 3 sorozatban érhetők el: az IMS5400-DS a nagy pontosságú ipari távolságmérésekhez, az IMS5400-TH a pontos vastagságmérésekhez, és a vákuumhoz is alkalmas IMS5600-DS a pikométeres felbontású távolságmérésekhez.

...<0.03 nm Metrológiai XY érzékelő: <0.1% Érzékelők linearitása Metrológiai Z érzékelő: <0.1% Felbontás: XY - 0.3 nm, Z - 0.03 nm Linearitás: XY - <0.1%, Z - <0.1% Minta pozicionálási tartomány: 12 mm Minta pozicionálási felbontás: 1.5 um Minta mérete: legfeljebb 1,5” X 1,5” X 1/2”, 35x35x12 mm Minta súlya: Z – Léptető motor Megközelítési rendszer lépésmérete: 230 nm Megközelítési rendszer sebessége...