Az AURION speciálisan az Ön igényeihez igazított többkamrás rendszereket kínál, amelyek alatt vákuumban kezelik a szubsztrátokat.
A rendelkezésre álló konfigurációk közé tartoznak a töltőkamrák, a transzferkamrák és a folyamatmodulok sputter és RIE folyamatokhoz.
Az AURION kifejezetten az Ön igényeire szabott, vákuum alatt működő, többkamrás rendszereket kínál szubsztrátszállítással.
A rendelkezésre álló konfi...
Teljes rendszerek felületek kezelésére és bevonására plazma folyamatokkal
Aktiválás, tisztítás és maratás atmoszférikus nyomású plazmával, reaktív io...
Sugármanipuláció részecskegyorsítókban (pl. Csoportösszenyomás), teljesen integrált rendszerek a kavitásból, sugárcsőből és HF-erősítőből. Sugárcső XH...
A KIVOS egy nagyon rugalmas, moduláris koncepció a plazma rendszerek számára.
Ezek a rendszerek a legkülönfélébb alkalmazási területeken használhatók...
Vákuumrezervuárak alumíniumból vagy rozsdamentes acélból, korrózió- és gázálló kivitelű vákuumpumpák olajködleválasztóval és olajvisszavezetéssel, aká...
Az AURION kifejezetten az Ön igényeire szabott, vákuum alatt működő, többkamrás rendszereket kínál szubsztrátszállítással.
A rendelkezésre álló konfi...
Teljes rendszerek felületek kezelésére és bevonására plazma folyamatokkal
Aktiválás, tisztítás és maratás atmoszférikus nyomású plazmával, reaktív io...
Sugármanipuláció részecskegyorsítókban (pl. Csoportösszenyomás), teljesen integrált rendszerek a kavitásból, sugárcsőből és HF-erősítőből. Sugárcső XH...
A KIVOS egy nagyon rugalmas, moduláris koncepció a plazma rendszerek számára.
Ezek a rendszerek a legkülönfélébb alkalmazási területeken használhatók...
Vákuumrezervuárak alumíniumból vagy rozsdamentes acélból, korrózió- és gázálló kivitelű vákuumpumpák olajködleválasztóval és olajvisszavezetéssel, aká...