Klaszter Rendszerek
Klaszter RendszerekKlaszter Rendszerek

Klaszter Rendszerek

Az AURION speciálisan az Ön igényeihez igazított többkamrás rendszereket kínál, amelyek alatt vákuumban kezelik a szubsztrátokat. A rendelkezésre álló konfigurációk közé tartoznak a töltőkamrák, a transzferkamrák és a folyamatmodulok sputter és RIE folyamatokhoz.
Hasonló termékek
1/8
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompakt rendszerek, minimális helyigény - Magas plazmasűrűségek rövid feldolgozási időkhöz - Optimalizált homogenitás plazma-rács segítségével, 2-dime...
DE-63500 Seligenstadt
Sputter rendszerek (Sputtering)
Sputter rendszerek (Sputtering)
DE-63500 Seligenstadt
Inline rendszerek
Inline rendszerek
Az AURION kifejezetten az Ön igényeire szabott, vákuum alatt működő, többkamrás rendszereket kínál szubsztrátszállítással. A rendelkezésre álló konfi...
DE-63500 Seligenstadt
Plazma rendszerek
Plazma rendszerek
Teljes rendszerek felületek kezelésére és bevonására plazma folyamatokkal Aktiválás, tisztítás és maratás atmoszférikus nyomású plazmával, reaktív io...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 gázáramlás-szabályozó, amelyek áramlása legfeljebb 500 sccm szabályozónként, hálózati csatlakozás: 3/N/PE AC 400/230V, kamra térfogata: 30 l, m...
DE-63500 Seligenstadt
HF rendszerek részecske-gyorsítókhoz (ACCELOS SOROZAT)
HF rendszerek részecske-gyorsítókhoz (ACCELOS SOROZAT)
Sugármanipuláció részecskegyorsítókban (pl. Csoportösszenyomás), teljesen integrált rendszerek a kavitásból, sugárcsőből és HF-erősítőből. Sugárcső XH...
DE-63500 Seligenstadt
A KIVOS koncepció: Plazma rendszerek
A KIVOS koncepció: Plazma rendszerek
A KIVOS egy nagyon rugalmas, moduláris koncepció a plazma rendszerek számára. Ezek a rendszerek a legkülönfélébb alkalmazási területeken használhatók...
DE-63500 Seligenstadt
RIE-ELV: CYLOS 160/RIE
RIE-ELV: CYLOS 160/RIE
Vákuumrezervuárak alumíniumból vagy rozsdamentes acélból, korrózió- és gázálló kivitelű vákuumpumpák olajködleválasztóval és olajvisszavezetéssel, aká...
DE-63500 Seligenstadt