bór-triklorid

Az Air Liquide 1902-ben egy egyszerű ötletből született: a levegőből történő ipari oxigéntermelésből. Több mint egy évszázaddal később az oxigén, nitrogén és hidrogén még mindig nap mint nap új ötleteket inspirál, hogy értékteremtő alkalmazásokat hozzunk létre az ügyfelek és betegek számára. Ezek az anyagok alapvető fontosságúak az anyag- és energiaipar számára – és az élethez is. Jelenleg az Air...

...-triklorid (BCl3), Alumínium-klorid (AlCl3), Klór-trifluorid (ClF3) és Diklór-szilán (DCS) alacsony hőmérsékleten kondenzálódnak. Ha ez bekövetkezik, az wafer hibát okozhat. A gáz- és pumpavezeték-fűtők folyamatosan fűtik a vezetékeket, egyszerű fűtési megoldást nyújtanak, és megakadályozzák a kondenzáció felhalmozódását. Az optimális vezeték hőmérséklet a folyamat függvényében változik.