teljesítményosztók

... teljesítményellátásához. Ide tartoznak az impedanciaillesztő hálózatok automatikus hangolási egységgel, valamint szűrők, kapcsolók, fáziseltolók, teljesítményosztók, vezetékek és csatlakozók. A hangsúly a 13,56 illetve 27,12 MHz frekvenciájú nagyfrekvenciás plazmafolyamatokra helyeződik. A komponensgyártás terén szerzett tudásra építve az AURION teljes rendszereket is kínál a plazmával támogatott felületkezeléshez, ami magában foglalja a felület tisztítását és módosítását, valamint a bevonatolási és maratási folyamatokat (PVD, PECVD, RIE, Mikrohullám).